單點電弧噴射式常壓電漿清洗機
電洽
電弧噴射(ARCJET)電漿設計。
處理間距(距樣品)高。
可使用多種反應氣體CDA/N2/AR等。
可單機或線上模組化。
能量集中,效果佳。
屬間接式電漿。
處理速度快。
可適用各種材料及各形狀材料。
反應氣體:以CDA為主的氣體,亦可採用其他N2/Ar氣體
啟動速度快: < 0.5SEC
反應氣體耗量少,運作成本低
電漿穩定性高
電漿有效處理範圍:Φ3 mm ~ 5mm
屬間接式電漿,無靜電(ESD)殘留問題
處理速度:5mm/SEC ~ 400 mm/SEC(依產品定義)
可適用各種材料及各形狀材料
處理間距(距樣品):5 mm ~ 20 mm
LCM中的ITO LEAD/FINGER清潔。
通用LCD及觸控各式前、後段各式製程。
各式版導體電子元件/非電子元件及材料之表面清潔及改質。
材料改質之應用
各項材料貼合或塗佈前處理製程;如鞋材/腳踏車/生物晶片試紙等。