31 August, 2026
踐行 ESG 永續製造！
綠色永續與ESG
踐行 ESG 永續製造！立百邑發表節能型電漿系統與長效電子級濾材方案
因應全球淨零碳排趨勢與半導體供應鏈的減碳期許，立百邑宣布推出具備低氣體耗量、高功因節能的次世代電漿設備，並導入長效環保型電子級絕對過濾濾材，協助客戶兼顧極致良率與綠色轉型。
綠色轉型亮點總覽
- 製程氣體節約化： 專利流體結構設計，可降低 25% 以上反應氣體耗量，顯著減少耗材營運成本。
- 長效低阻力濾材： 導入新一代高納污量電子級濾芯與濾袋，大幅延長更換週期並降低廢棄物產生。
- 符合國際環保規範： 設備與耗材產品全面通過安全檢驗，符合歐盟 RoHS 及半導體潔淨度要求。
減碳不減良率：半導體供應鏈的永續新課題
隨著 RE100 與範疇三（Scope 3）碳排放稽核日趨嚴格，國際晶圓與面板大廠對設備供應商的要求已不再侷限於效能與速度，電力消耗、氣體用量及廢棄物處置亦升級為關鍵採購指標。
立百邑積極回應產業需求，在維持高密度電漿清洗效率與微米級潔淨度的同時，進行設備電路架構與流體場優化，實現「高效能、低耗能」的雙重效益，協助客戶邁向綠色工廠認證。
立百邑綠色製造三大核心解決方案
01
低氣耗節能電漿模組
透過精準的電弧控制與腔體氣場優化，大幅提升 CDA、N₂ 等氣體之活化效率，減少氣體浪費並降低能源消耗。
02
長壽命絕對式濾芯與濾袋
引進高規膜材，具備超高納污量與低壓降特性，能穩定過濾化學品與氣體，延長壽命並降低停機更換頻率。
03
乾式超音波節能除塵
無水乾式清洗架構，避免傳統濕式清洗所產生的大量廢水處理成本與能源消耗，為無塵室帶來潔淨節能新選擇。
持續創新：成為客戶最信賴的綠色技術夥伴
立百邑團隊深信，唯有將「環保永續」與「高精技術」深刻結合，才能為客戶創造長期的商業價值。未來我們將持續深耕節能型電漿與極淨搬運技術，協助半導體與光電大廠在追求高良率的同時，共創綠色永續的新里程碑。