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攻克微米級良率瓶頸！

隨著半導體與先進顯示器製程邁向更微細節點，有機微污染（AMC）與微粒成為影響良率的關鍵。立百邑整合常壓/真空電漿、乾式超音波與精密吸盤及微粒過濾技術，為大廠提供一站式極淨轉型方案。