Wide-Area Plasma Solution
寬幅式電漿設備（介電屏障放電）
專為大面積寬幅清潔與改質設計，具備高電漿密度與極佳均勻度，滿足大規模連續生產需求。
產品核心特色
✦ DBD 介電屏障放電設計
高密度電漿輸出，處理速度快且均勻度高，專為高標準表面處理打造。
✦ 高擴充性寬幅電極
電極幅寬大且具高擴充性，可依客戶產線需求客製化極寬尺寸。
✦ 多元片材與薄膜適用
適用於各式平面片材、軟性薄膜（Film）及基板材料，支援雙面清潔。
✦ 水冷系統與簡易保養
採用高效水冷散熱架構，保養與操作簡單方便，確保長時間連續運轉。
技術規格與操作條件
適用產業與主要應用
● 光電顯示器 (LCD / TP / OLED) CELL、ARRAY、LCM 段玻璃基板清潔、ITO LEAD 清潔，以及面板前、後段玻璃或 FILM 基板清潔。
● 半導體與晶圓製程 晶圓（Wafer）表面清潔，各式半導體電子元件與非電子元件之表面極致淨化與活化。
● 軟性薄膜與高分子材料改質 適用於 PI、PET、PE、塑膠等金屬/非金屬材料，以及素玻璃、ITO 玻璃基板之親水性改質。