Dry Ultrasonic Cleaning System
乾式超音波清洗機 (DUC)
專為高精密基板打造的非接觸式除塵解決方案，高效去除微小顆粒，實現無損淨化。
核心技術與優勢
✦ 多項專利型結構設計
運用獨家氣流與超音波技術，可有效破壞邊界層，極致去除微米級顆粒（Particle）污染。
✦ 多元平面基板適用
廣泛適用於玻璃基板、顯示面板、半導體晶圓及各式高精密硬質/軟性平面材料。
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