Electrostatic Chuck Solution
PI 型靜電吸盤
提供三大專業結構類型,精準對應各種製程潔淨度、耐磨刮需求與特殊高絕緣材料之無痕穩固吸附。
三大型號規格選擇
MODEL PS01
標準型
✦ 產品特點: 通用型靜電吸盤設計,完美同時兼顧吸附力與表面強度。
✦ 適用應用: 適用於高潔淨度無塵環境,且無產品粉塵碎屑之標準製程。
MODEL PS02
抗刮強度加強型
✦ 產品特點: 大幅強化表面強度,雖微幅犧牲部分初始吸力,但可透過提高電壓輕鬆補回。
✦ 適用應用: 適用於環境潔淨度較低,或產品容易刮傷吸盤之產線,能有效延長吸盤使用壽命。
MODEL PS03
吸力加強型
✦ 產品特點: 極致化吸附力結構設計,提供超強抓持力與穩定度。
✦ 適用應用: 專為難以固定之特殊材料、薄片及高絕緣性材料搬運所設計。
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